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全自動超薄膜計測システム
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PEMを利用した位相変調方式により高精度測定 |
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卓越した操作性 |
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複雑な多層構造の解析に威力を発揮 |
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Low k ,High k ，ＳｉＧｅ，ONO，
SOI，超薄膜SiO2 膜等の膜厚管理 |
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SECS/GEM通信、CIM/AGV対応 |
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ＵＴ―３００は、180年以上もの伝統を持つフランスのJOBIN YVON社（HORIBAグループ）の分光エリプソメータにHORIBAの技術を融合した全自動超薄膜計測システム
です。
今まで難しかった複合多層膜、１ｎｍ以下の超薄膜の膜厚、光学定数 ｎ，ｋの同時一括測定を実現しました。高速性、操作性を徹底追及し、現場ニーズに対応したプロセス管理ソリューションを提供します。 |
| 測定波長 |
：標準 248ｎｍ〜830ｎｍ オプション 190nm〜830nm |
| 光 源 |
：Ｘｅランプ |
| ウエハサイズ |
：150ｍｍ、200ｍｍ、300ｍｍ対応（選択） |
| 多波長同時測定ユニット |
：16Ch、３２Ch、６４Ｃｈ（選択） |
| パターン認識 |
：オプション |
| オートフォーカス |
：オプション |
| 外部通信機能 |
：オプション SECS２、GEM
オプション CIM、AGV |
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