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ガートナー社製エリプソメータシステム
- エリプソメータはエリプソメトリ(偏光解析法) を用い、非接触及び非破壊で試料表面上の薄膜厚及び屈折率あるいは吸収係数を測定する装置です。
- ガートナー社製エリプソメータは、幅広いニーズに合わせて従来のタイプから高速測定のストークスタイプまで、各種タイプが用意されております。
- オプションでオートフォーカス＆オートチルト及びウェハー自動搬送に対応できます。
- Sシリーズはストークス方式を採用しており、高速測定が可能のため、変化の早い物質の測定が容易です。
（１ポイント１sec以下/Si基板上のSiO２を入射角70°でT1,N1測定した場合）
- 各種カスタマイズに対応いたします
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- 光源：He-Neレーザ(波長632.8nm)
オプションで多波長対応可(例：405nm,830nm)
- 測定範囲：数Å〜６μm（SiO２/Siの場合）
- 試料台：300mm対応可
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カタログ
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