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ホーム > 製品・サービス > 電子機器営業本部 電子機器営業本部TEL:03-3504-7931 デバイス製造システム分野 　 ■ミニエンバイロメント ウェハ搬送システム ■FOUPオープナ ■オープンカセットロードボード ■ウェハ・マスク用真空搬送システム ■ミニエンバイロメント ウェーハ搬送システム MH3000シリーズ ■LCD検査装置 ■LCDパネルエージング装置 ■全自動分光エリプソメーター ■ガートナー社製エリプソメータシステム ■TOF.SIMS 5（PDFファイル 5.29MB） ■ROKI CMP用　スパイラルPAD（砥粒入り） ■プラズマデスミア装置 ■ETS 半導体製造用洗浄装置 ■ETS マルチスピンプロセッサ II ■コーター・ディベロッパー ■エバラCMP装置 ■エバラ省エネ真空ポンプ ■エバラ排ガス処理装置 ■波長可変型光源装置ポリライト（POLILIGHT PL500） ■衝突・衝撃解析ソフトウェアLS-DYNA ■三次元CAD設計システム ■液晶用材料 ■精密電解メッキ装置 ■イオンビームミリング(エッチング)装置(PDFファイル 162KB) --- AE機器エンジニアリング(株) ■イオンビームスパッタ装置(PDFファイル 85.8KB) --- AE機器エンジニアリング(株) ■ウェハーエッジ研磨装置（ｅ−ＣＭＰ）

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