キャリアレス洗浄装置ＥＴＣシリーズはランニングコスト削減・洗浄能力アップと環境問題への対応を両立したハイパフォーマンス洗浄装置です。

ＥＴＣシリーズ特徴

★卓越した搬送信頼性を実現
　　当社オリジナルウエハー支持構造。
　　正確な位置決めとソフトなウエハー支持を両立。

★ウエハー表・裏面非接触の完全自立型プッシャー
　　当社独自開発のウエハー支持構造。

★ＮＥＷＭＯＯＮドライヤーを搭載
　　御要望により従来よりのスピンドライヤー・ＩＰＡベーパードライヤー他もご用意して居ります。

★機能水（Ｏ_３水＋Ｈ_２水）供給ユニット搭載
　　各種御要望に対応します。
　　また貴社プロセス・用力設備等の条件を含めて御提案を申し上げます。

★オペレーターに優しい充実のオペレーションシステム
　　ＨＯＳＴ・ラインＰＣとの通信機能も充実。
　　メンテナンスに関する情報も詳細に報告。

★エネルギー管理機能搭載
　　薬品・純水使用量を始め、電力使用量管理まで、月単位・年単位で管理することにより
　　エネルギー節約に威力を発揮。

★環境対応
　　薬液・純水の高効率処理、機能水の搭載および各種データ管理等により、
　　各種用力の使用量をＴＯＴＡＬシステムとして削減。環境保護に尽力。

★コストパフォーマンス
　　多彩な仕様・オプションをセレクトする事により、ニーズに合ったスペックを御提案致します。

★その他
　　ＳＥＣＳ�U通信対応・ＡＧＶ対応等豊富な実績でお応えします。
　　オリジナルパーツも多様に準備。