毎年幕張メッセにて開催されるセミコンジャパンにおいて、様々な製品をパネル展示中心にご紹介します。

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• 会期：２００５年１２月７日(水)〜９日(金)
• 場所：幕張メッセ　日立ハイテクトレーディング展示ブース：ホール１Ｂ−９１３
• ブースイメージ図
  
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• 展示品


実物展示
　　
• ＣＭＰスパイラルパッド
　　
• 明電ＥＥＳプラットフォームパッケージ
　　
• プロセスデータ解析ツール

パネル展示
　　
• ＣＭＰプロセスモニタリングセンサー
　　
• イオンプレーティング装置
　　
• 枚葉式イオンビームエッチング装置
　　
• ロードロックバッチ式φ580イオンビームエッチング装置
　　
• ミニエンバイロメントウェーハ搬送システム